东莞市中图半导体科技有限公司二期扩建项目竣工环境保护验收意见

2019年6月3日，东莞市中图半导体科技有限公司组织召开东莞市中图半导体科技有限公司二期扩建项目（以下简称“二期扩建项目”）竣工环境保护验收会。验收小组由建设单位（东莞市中图半导体科技有限公司）、环评单位（湖南绿鸿环境科技有限责任公司）、验收报告编制单位（东莞市中图半导体科技有限公司）、检测单位（东莞市富润检测技术服务有限公司）、废气治理设计单位及施工单位（中国电子系统工程第二建设有限公司）及三位技术专家（名单附后）组成。

验收工作组实地察看了项目现场和相关环保设施，根据《东莞市中图半导体科技有限公司二期扩建项目竣工环境保护验收报告》，并对照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》和《关于转发环境保护部（建设项目竣工环境保护验收暂行办法》的函》（粤环函（2017）1945号），严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、本项目环境影响报告和审批部部门审批决定等要求对本项目进行验收，经认真讨论与评议，形成验收意见如下：

一、工程建设基本情况

（一）建设地点、规模、主要建设内容

东莞市中图半导体科技有限公司位于东莞市松山湖高新技术产业开发区北部工业城工业北二路（北纬23°02′36.74″、东经114°03′51.29″）。该项目总投资11.5亿元，项目占地面积和建筑面积分别为38125.07m²、67390.4m²，主要从事图形式蓝宝石衬底（PSS）的加工生产，年生产2英寸、4英寸PSS分别为360万片、1080万片。

本次验收范围为“东莞市中图半导体科技有限公司二期扩建项目”（以下简称“二期扩建项目”），二期扩建项目增加投资4亿元，主要从事4英寸图形化蓝宝石衬底（PSS）的加工生产，年产4英寸图形化蓝宝石衬底（PSS）960万片。二期扩建项目不增加厂房建设，占地面积和建筑面积均无增加。

东莞市中图半导体科技有限公司成立于2013年，于2014年7月开始建设，二期扩建项目于2018年8月建成投产。

（二）环评审批情况

根据东莞市中图半导体科技有限公司提供的资料，2014年7月，东莞市中图半导体科技有限公司委托了广州环发环保工程有限公司编制了《第三代半导体衬底及装备产业化项目（一期）建设项目环境影响报告表》，并通过了东莞市松山湖分局的批复，批复文号为：东环建[2014]51号，该项目主要从事激光剥离机的加工生产，年产激光剥离机5000台。2014年10月，由于发展目标的转变，东莞市中图半导体科技有限公司根据公司内部发展规划需要，提出图形化蓝宝石衬底（PSS）生产项目替代激光剥离机生产项目，不再从事激光剥离机生产，企业委托了广州市环境保护工程设计院有限公司编制了《东莞市中图半导体科技有限公司第三代半导体衬底及装备产业化项目环境影响报告书》，并通过了东莞市环境保护局批复，批复文号为：东环建[2015]1339号。2016年11月企业取得了东莞市环境保护局签发的《广东省污染物排放许可证》，许可证编号：4419002016000003，有效期至2017年1月13日。排污许可证到期后，企业向东莞市环境保护局申请延续，2017年1月14日企业再次取得了东莞市环境保护局签发的《广东省污染物排放许可证》，许可证编号不变，有效期：2017年1月14日-2020年1月13日。2017年3月，该项目通过东莞市环境保护局环保验收，验收意见文号：东环建[2017]2981号。2017年5月，由于市场对产品图形化蓝宝石衬底（PSS）需求增加，东莞市中图半导体科技有限公司拟在原厂区内进行扩建，并委托了湖南绿鸿环境科技有限责任公司编制了《东莞市中图半导体科技有限公司二期扩建项目环境影响报告书》，并通过了东莞市环境保护局的批复，批复文号为东环建[2018]2263号，扩建项目年产4英寸图形化蓝宝石衬底（PSS）960万片；2019年5月，东莞市中图半导体科技有限公司委托了东莞市绿航环保工程有限公司编制了《东莞市中图半导体科技有限公司废水和废气处理设施非重大变化论证报告》，并且通过了专家的评审意见，专家组一致认为东莞市中图半导体科技有限公司废水和废气处理设施变化情况不构成重大变动，无需重新报批。

（三）投资情况

二期扩建项目总投资额为4亿元，其中环保投资为570万元，占总投资的1.43%。

（四）工程建设内容

二期扩建项目主要产污排污设备一览表

（五）验收范围

本次验收范围为二期扩建项目增加的13台匀胶机、12台显影机、35台曝光机、2台有机清洗机、10台酸洗机、17台甩干机、4台烤箱、65台蚀刻机、3台厚度仪、1台AFM、14台显微镜、4台镭刻机、10台蓝宝石图案基板自动光学缺陷检查分类机（AOI）、20台蓝宝石图案基板自动光学缺陷检查机（ADI）、3台包装机、3台生产PM机、4台设备PM机、6台空压机、4套去离子水系统、11台冷却塔、12台冷冻机和5台真空泵等设备，以及二期扩建项目产生的废水、废气、噪声、固体废物等相对应的配套治理措施以及各污染物的排放情况。

二、工程变动情况

二期扩建项目增加的设备与环评文件一致，二期扩建项目建设性质、建设规模、建设地点、生产工艺、环境保护措施均无改变，无重大变动。二期扩建项目实际建设中，现有工程4套碱液喷淋装置由混合处理刻蚀废气和酸雾废气变为单独处理酸雾废气和刻蚀废气、1号厂房刻蚀废气和酸雾废气排气筒高度降低对项目周边环境和敏感点影响甚微，不会导致项目环境影响和环境风险增大，不会导致污染物的产生量和排放量增加，验收组认为该项变化不属于重大变化。

三、环境保护设施落实情况

（一）废水

二期扩建项目运营期间产生的废水包括员工生活污水和生产废水，其中生产废水包括工艺废水和公辅设备排水。工艺废水包括酸洗废水（①~②），显影废水、去胶废水（有机洗、酸洗）；公辅设备排水包括纯水设备浓水、冷却塔排水、碱液喷淋排水、水喷淋塔排水、清洗篮和刻蚀机内衬清洗废水。项目生产废水采取分质分类处理，较难生化处理的显影废水先采用芬顿氧化后汇合有机洗废水、清洗篮、刻蚀机内衬清洗废水、碱液喷淋塔和水喷淋塔排水一起采用“A²O+MBR”处理，处理达标外排。酸洗废水和冷却塔排水采用超滤工艺处理后，部分回用于冷却塔、喷淋塔补水，剩余废水采用纯水系统（RO+RO+EDI+离子交换）处理后回用于清洗篮、刻蚀机内衬清洗和酸洗。纯水系统RO产生的浓水进一步采用RO系统处理回用于冷却塔和喷淋塔，产生的浓水汇合显影废水采用“芬顿氧化+A²O+MBR”处理后外排。项目生产废水经过分质分类处理后，其中68%回用于生产中，剩余32%排入市政污水管网引到东莞市松山湖北部污水处理厂处理。员工生活污水经隔油隔渣池和三级化粪池预处理后排入市政污水管网，引到东莞市松山湖北部污水处理厂处理。

（二）废气

二期扩建项目运营期间产生的废气有机废气、酸雾废气、刻蚀废气、污水处理站恶臭废气和厨房油烟。

1、有组织排放：

（1）有机废气：项目二期扩建项目有机废气经3套水喷淋（配套除雾）+光催化氧化+活性炭吸附装置处理后分别引至21m、21m、27m高排气筒外排（其中2套“光催化氧化+活性炭吸附装置”依托现有工程），废气处理效率为91%。

（2）酸雾废气、刻蚀废气：二期扩建项目生产过程中产生的酸雾废气（主要成分为硫酸雾）和刻蚀废气（主要成分为氯气）经7套碱液喷淋（其中4套依托现有工程）处理后分别引至21m、25m、27m高排气筒外排（其中3个废气排放筒高度为25m、2个废气排放口为27m、其余2个废气排放筒高度为21m）。

（3）污水处理站恶臭废气：二期扩建项目污水处理站恶臭废气（主要成分为臭气、硫化氢和氨）经1套生物除臭+活性炭吸附装置（新增）处理后引至27m高排气筒外排。

（4）厨房油烟：二期扩建项目厨房油烟经1套高效静电油烟净化器（依托现有工程）处理后引至高空排放。

2、无组织排放废气控制措施：

（1）有机废气：二期扩建项目去胶（有机洗）、涂胶、匀胶、烤胶和显影工序会产生有机废气VOCs，项目清洗设备设置操作门、槽体自带槽盖，工作过程中为密闭，废气收集率为99%，剩余1%为无组织废气，无组织部分产生量较小，对外环境影响较小。

（2）酸雾废气：二期扩建项目去胶（酸洗）、酸洗（①~②）工序加工过程中会产生硫酸雾，项目清洗设备设置操作门、槽体自带槽盖，废气收集率为99%，剩余1%为无组织废气，无组织部分产生量较小，对外环境影响较小。

（三）噪声

二期扩建项目主要噪声源为水泵、风机、冷却塔、空压机等设备，其声源组合声级约达80-105dB(A)，建设单位采取使用低噪声设备、隔声、消声和减震等措施，经过有效处理后，厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的2类标准。

（四）固体废物

建设单位对各种固体废物采取的处理措施如下：

1、危险废物：二期扩建项目运营期间产生的丙酮槽液、异丙醇槽液、废酸液、废光刻胶、废活性炭、废试剂瓶/桶、污泥交由资质单位处理。

2、生活垃圾：统一堆放在指定堆放点，每天由环卫部门清理运走，并定时在垃圾堆放点消毒、杀灭害虫，使其不对工作人员造成影响。

二期扩建项目执行了环境影响评价制度和“三同时”，制定了环境管理制度，基本落实了环评报告书批复要求，固体废物得到妥善处置。

（五）其他环境保护设施

二期扩建项目涉及到一定数量的化学品原料，生产过程中会产生一定数量的危险废物，主要事故风险是运输、贮存、使用过程中化学品或危险废物的泄露以及废水、废气的事故排放。为预防和降低项目风险发生时对周边环境的影响，建设单位已做出以下预防、防范措施：

1、室外设置844.8m³地埋式应急事故池，收集管网（利用雨水管网）连接地埋式应急事故池，厂区雨水排放口设置控制阀门；

2、化学品仓库内设置1座0.5m³应急事故池，仓库周边设有收集管网，该管网与仓库内0.5m³应急事故池连通；

3、车间配置一定数量的吸附棉、消防沙；

4、化学品仓库、危废仓库、生产车间等采取商品混凝土硬化，并采用环氧树脂油漆进行防腐防渗涂装；

5、利用车间外收集管网及地埋式应急事故池收集消防废水；

6、污水处理站排放口设置控制阀门，污水处理站与应急事故池设置管网连接，利用收集管网和地埋式应急事故池收集事故排放生产废水。

综上所述，采取上述有效预防和防范措施后，风险事故发生的概率不大，对环境的不利影响可以得到有效的控制，项目风险水平在可接受的范围内。

四、环境保护设施调试结果

（一）废水

1、生产废水：项目生产废水包括工艺废水和公辅设备排水，工艺废水包括酸洗废水（①~②），显影废水、去胶废水（有机洗、酸洗）；公辅设备排水包括纯水设备浓水、冷却塔排水、碱液喷淋排水、水喷淋塔排水、清洗篮和刻蚀机内衬清洗废水。生产废水采取分质分类处理，生产废水经项目内自建废水处理站处理后，68%回用于生产中，回用于清洗工序的回用水质满足《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T19923-2005）中“工艺与产品用水”及项目工艺用水标准严者，回用于碱液喷淋塔、水喷淋塔和冷却塔的回用水质满足《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T19923-2005）“敞开式循环冷却水系统补充水”标准；剩余32%经处理达到广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段一级标准后排入市政污水管网，引到东莞市松山湖北部污水处理厂处理。

2、员工生活污水：员工生活污水经隔油隔渣池和三级化粪池预处理后达到广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准，排到市政污水管网引到东莞市松山湖北部污水处理厂处理达标后排放。

（二）废气

1、去胶（有机洗）、涂胶、匀胶、烤胶、显影工序有机废气的排放浓度满足广东省《家具制造行业有机化合物排放标准》（DB44/814-2010）第Ⅱ时段标准限值。

2、酸雾废气、刻蚀废气污染物排放浓度满足广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准限值。

3、污水处理站恶臭废气污染物排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2恶臭污染物排放标准。

4、厨房油烟排放浓度满足《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB18483-2001）相关排放限值。

5、无组织废气排放中，污染物硫酸雾周界外浓度最高处满足广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值，总VOCs的排放满足广东省《家具制造行业有机化合物排放标准》（DB44/814-2010）无组织排放监控点浓度限值要求。

（三）噪声

二期扩建项运营期间产生的噪声源经采取使用低噪声设备、隔声、消音和减振等处理措施后，厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准。

（四）环境总量及卫生防护距离落实情况

根据《东莞市中图半导体科技有限公司二期扩建项目竣工环境保护验收报告》，各项污染物总量指标未超过环评审批允许的总量控制指标。

根据东莞市中图半导体科技有限公司四至情况以及对二期扩建项目周边100米范围现场勘查情况，二期扩建项目100米范围内无环境敏感点，项目卫生防护距离定为：1号厂房生产车间和2号厂房生产车间边界外100m，项目最近敏感点老虎岭距项目最近生产车间（1号厂房）距离为170m，华灿电讯科技有限公司宿舍距项目最近生产车间（1号厂房）距离为42m，该宿舍属于倒班宿舍。故项目卫生防护距离包络线范围内没有环境敏感点，建设单位已落实环评批复中卫生防护距离的要求。

五、工程建设对环境的影响

二期扩建项目执行了环境影响评价制度和环保设施“三同时”管理制度。

（一）废水

二期扩建项目运营期间产生的水污染源包括生产废水、员工生活污水。

1、生产废水：生产废水包括工艺废水和公辅设备排水。工艺废水包括酸洗废水（①~②），显影废水、去胶废水（有机洗、酸洗）；公辅设备排水包括纯水设备浓水、冷却塔排水、碱液喷淋排水、水喷淋塔排水、清洗篮和刻蚀机内衬清洗废水。生产废水采取分质分类处理，生产废水经项目内自建废水处理站处理后，68%回用于生产中；剩余32%经处理达到广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段一级标准后排入市政污水管网，引到东莞市松山湖北部污水处理厂处理，废水经有效处理后，对纳污水体影响甚微。

2、员工生活污水：项目员工生活污水经隔油隔渣池和三级化粪池预处理后达到广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准，排到市政污水管网引到东莞市松山湖北部污水处理厂处理达标后排放，员工生活污水经污水处理厂有效处理后，污水中污染物得到有效削减，对纳污水体的影响甚微。

（二）废气

1、有组织排放：

（1）有机废气：项目二期扩建项目有机废气经水喷淋（配套除雾）+光催化氧化+活性炭吸附装置处理后分别引至高空排放，VOCs的排放浓度满足广东省《家具制造行业有机化合物排放标准》（DB44/814-2010）第Ⅱ时段标准限值，对项目周边环境影响甚微。

（2）酸雾废气、刻蚀废气：二期扩建项目生产过程中产生的酸雾废气（主要成分为硫酸雾）和刻蚀废气（主要成分为氯气）经碱液喷淋处理后引至高空排放，污染物的排放浓度满足广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准，对项目周边环境影响甚微。

（3）污水处理站恶臭废气：二期扩建项目污水处理站恶臭废气（主要成分为臭气、硫化氢和氨）经生物除臭+活性炭吸附装置处理后引至高空排放，污染物的排放浓度满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2恶臭污染物排放标准，对项目周边环境影响甚微。

（4）厨房油烟：二期扩建项目厨房油烟经高效静电油烟净化器处理后引至高空排放，油烟的排放浓度满足《饮食行业油烟排放标准》（试行）》（GB18483-2001）相关排放限值，对项目周边环境影响甚微。

2、无组织排放废气控制措施：

（1）有机废气：二期扩建项目去胶（有机洗）、涂胶、匀胶、烤胶和显影工序会产生有机废气VOCs，项目清洗设备设置操作门、槽体自带槽盖，工作过程中为密闭，废气收集率为99%，剩余1%为无组织废气，无组织部分产生量较小，总VOCs的排放满足广东省《家具制造行业有机化合物排放标准》（DB44/814-2010）无组织排放监控点浓度限值要求，对外环境影响较小。

（2）酸雾废气：二期扩建项目去胶（酸洗）、酸洗（①~②）工序加工过程中会产生硫酸雾，项目清洗设备设置操作门、槽体自带槽盖，废气收集率为99%，剩余1%为无组织废气，无组织部分产生量较小，周界外浓度最高处满足广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值，对外环境影响较小。

（三）噪声

二期扩建项运营期间产生的噪声源经采取使用低噪声设备、隔声、消音和减振等处理措施后，厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准，对项目周边环境影响甚微。

六、验收结论

二期扩建项目环境影响报告经批准后，其性质、规模、地点、采取的防治污染、防止生态破坏的措施均无发生重大变化，二期扩建项目基本落实了环评文件及环评批复文件要求，且满足“三同时”要求，验收小组同意东莞市中图半导体科技有限公司二期扩建项目通过竣工环境保护验收。

七、建议和要求

1、建设单位应在项目运行过程中加强环境保护管理工作，严格执行各类管理制度和操作规程，定期对各项环境保护设施进行检查、维护和更新，确保污染物能长期稳定达标排放，减少对周围环境的影响。二期扩建项目工程建设中应落实“三同时”制度，并在满足相关要求后进行竣工验收。

2、积极配合各级环保部门做好该项目的日常环境保护监管工作，对该项目污染防治有新要求的，应按新要求执行。

3、落实环境风险应急预案要求，定期组织演练。

4、按国家、省、市关于信息公开的法律法规及文件要求，做好相关环境信息公开工作。

八、验收人员信息

验收人员名单信息详见验收工作组人员名单表。

东莞市中图半导体科技有限公司

2019年6月3日

东莞市中图半导体科技有限公司二期扩建项目竣工环境保护验收意见.doc